EUV技术能够落地商用，背后离不开荷兰巨头ASML(阿斯麦)，整个EUV光刻机市场已经被他家垄断，现在的7nm工艺节点如此，未来的5nm、3mm节点也会如此。
其实早在2013年，ASML EUV光刻机就投用了，但头几年一直都是试验、试产性质，累计300毫米晶圆产量直到2017年才达到110万块，2018年又生产了90万块，2019年至今累计已达450万块，算下来从2016年到现在年复合增长率高达95％。
其实，全球已部署投产的EUV光刻机也没多少，直到2016才不过区区10台，2018年增加了17台，2019年上半年增加了11台，目前总共38台。
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