IEMN 结果显示 ALLOS 新型硅基氮化镓外延片产品具有超过 1400 V 的击穿电压

法国阿斯克新城和德国德累斯顿 - 2018 年 2 月 1 日 - 来自电子、微电子及纳米技术研究院 (IEMN) 的最新结果显示，ALLOS 即将推出的适用于 1200 V 器件的硅基氮化镓外延片产品具有超过 1400 V 的纵向和横向击穿电压。

法国 IEMN 研究所的 Farid Medjdoub 博士领导的一支团队制造出了器件，并在由德国 ALLOS Semiconductors 公司提供的两款不同的硅基氮化镓外延片产品上进行了测量。其中之一是 ALLOS 即将推出的专为 1200 V 器件应用设计的产品的原型。IEMN 借助该外延片实现了超过 1400 V 的纵向和 1600 V 的横向（接地）击穿电压。另一款外延片是 ALLOS 针对 600 V 应用推出的成熟产品，同样显示出非常高的 1200 V 击穿电压以及更高的横向和纵向测量值。

适用于 1200 V 器件应用的新型外延片产品来自 ALLOS 正在进行的一项内部开发计划。该产品的强劲性能归功于一个创新的结构，该结构结合了 ALLOS 的独特应变工程和高晶体质量方式，以及用于抑制泄漏和进一步提高击穿电压的其他措施。这种强劲性能的实现并未以牺牲晶体质量或晶片弯曲度等其他基本参数为代价，也未引入碳掺杂。外延生长是在标准 Aixtron G5 MOCVD 反应器上进行的。

在 2017 年 11 月于北京举行的国际第三代半导体论坛 (IFWS) 上，ALLOS 展示了使用 ALLOS 600 V 外延片的一位行业合作伙伴所给出的器件结果。凭借成熟的器件设计和针对高达 1000 V 泄漏的测量设置，实现了 600 V 下 0.003 μA/mm2 和 1000 V 下 0.033 μA/mm2 的值。“我们的合作伙伴给出的这一反馈对我们来说真是好消息，因为这又一次证明了我们在 600 V 应用领域的强大技术实力。”ALLOS 首席技术官 Atsushi Nishikawa 博士解释道，“现在最大的问题是在 1000 V 以上的哪个电压下会出现物理击穿，以及我们能否在 1200 V 领域再续辉煌。”

有了 IEMN 显示的结果，现在可以给出答案。它使用了简化的器件设计和流程，获得反馈的速度比工业流程快了许多。在 ALLOS 针对 1200 V 器件推出的新型外延片产品的原型上，IEMN 实现了超过 1400 V 的纵向和 1600 V 的横向（接地）击穿电压（分别为图 1 (a) 和 2 (b)）。使用浮动测量设置补充表征产生了接触距离为 12 μm 时超过 2000 V 的横向击穿电压（图 1 (c)）。对于接触距离为 4 μm 时击穿电压已超过 1100 V 的 7 μm 厚外延堆栈，接触距离为 12 μm 时出现横向浮动击穿电压饱和（图 1 (d)）。

AIAAAAIQC75UiUBQEAAB4CAAATAAAAW0NvbnRlbnRfVHlwZXNdLnhtbKSRvU7DMBSF dyTewfKKEqcMCKEmHfgZgaE8wMW+SSwc27JvS/v23KTJgkoXFsu+P+c7Ol5vDoMTe0zZBl/LVVlJ gV4HY31Xy4/tS3EvRSbwBlzwWMsjZrlprq/W22PELHjb51r2RPFBqax7HCCXIaLnThvSAMTP1KkI +gs6VLdVdad08ISeCho1ZLN+whZ2jsTzgcsnJwldluLxNDiyagkxOquB2Knae/OLUsyEkjenmdzb mG/YhlRnCWPnb8C898bRJGtQvEOiVxjYhtLOxs8AySiT4JuDystlVV4WPeM6tK3VaILeDZxIOSsu ti/jidNGNZ3/J08yC1dNv9v8AAAA//8DAFBLAwQUAAYACAAAACEArTA/8cEAAAAyAQAACwAAAF9y ZWxzLy5yZWxzhI/NCsIwEITvgu8Q9m7TehCRpr2I4FX0AdZk2wbbJGTj39ubi6AgeJtl2G9m6vYx jeJGka13CqqiBEFOe2Ndr+B03C3WIDihMzh6RwqexNA281l9oBFTfuLBBhaZ4ljBkFLYSMl6oAm5 8IFcdjofJ0z5jL0MqC/Yk1yW5UrGTwY0X0yxNwri3lQgjs+Qk/+zfddZTVuvrxO59CNCmoj3vCwj MfaUFOjRhrPHaN4Wv0VV5OYgm1p+LW1eAAAA//8DAFBLAwQUAAYACAAAACEAKQzcOMgDAAAICgAA HwAAAGNsaXBib2FyZC9kcmF3aW5ncy9kcmF3aW5nMS54bWzsVs2O2zYQvhfoOxA8tQevfix7LSPa YNeJgwCbrbHe7Z2WKIsIRaok/bdFnyBALulz9NZj36ZBX6NDUvLa3vQHbQ491AbskTj8OPPNNyM9 e76tOVpTpZkUGY7OQoyoyGXBxDLD93fT3ggjbYgoCJeCZnhHNX5+8eUXz8h4qUhTsRwBgtBjkuHK mGYcBDqvaE30mWyogLVSqpoYuFTLoFBkA8g1D+IwHAY1YQJfPEK9IIaglWL/AIrL/C0tJkSsiQZI no8P77Qx8vzfI5OxWL9SzbyZKRt5frOeKcSKDANzgtRAEQ7ahdYNLoOTXctHgG2pausvyxJtoQLp aJhGA4x2GR5EUdwfDTwe3RqUg0PS75+HsJ6DQ5SMBmnYnld98xcIefXyTzEgSB8MGAcB6saGJ9ZP M+53Gd9BcCXlBervc7feyGyvpM3J1Vg311AjjYScVEQs6aVSclNRUmjr4UkCNv0xjrDuRG2xFps3 sgB2ycpIh/d5iNsnTcaN0uYVlTWyRoYVzY07iKyvtfHxdS6WES05K6aMc3ehlosJV2hNeIan7tOm dOTGheNS2m0e0d8B/uAMu2bL7Drg+zSKk/AqTnvT4ei8l0yTQS89D0e9MEqv0mGYpMmL6Q82wCgZ V6woqLhmgnbdGCVPpF6zXEktS3OWyzoAvbGcdh0J/RiFvh/RJsPpIB74ov1hkqH7fCrJmhmqEGd1 hkd7JzK2pX4pCkibjA1h3NvBcfiuVYCD7t+xAjWyEnAbt3MnR6usYmfvLOAf5KEklAxaEEYZGJVU DxhtYEBlWH+3IopixF8LUBq4mM5QnbHoDCJy2Jphg5E3JwauYM+qUWxZAbLXspCXIMOStbLwMdho uDZzs+PUZekibQPXTX5ZugqDNTPaK8X1rkvPr4LZ+rtsFSTGoVcy/FD1JjcwiR8yPAwhnrdU2XEN pj2VliWI1asUYiCGCWR2DS1JDh0zIZwtFMOoIUJquBHG4TQcwK/9JmHf/sIqM3k1JTXjMFn6cCOv iNLU0erSoeQA9ONP73795cMRZhRCaIAWdd8TzPgAshfFcTsr9OdHBRqBOqeXi99+/Pnj+3fIjmCv Ks+sXXykl4re/fx/em3h/kbRDun96tuvT6ilopgRRW4/pd0IHvv/AfHO3sBLyDW7P5JvDC1x9Dlh 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ievB2wLaRxnw6uyuo/AwFDNFSyRfCyMHuMs563JR6oVrWlbBzaNZHJQLF7Mibh/jwzLZPRw78e3P EuibWVo6hvdC4qi5x3CscEBiopB+xg8IKbHuDqWOX3epL7jkU4XuUNTFtNQlIzp2smmxaIdGEJd5 mc0Qb8c3u7dRl7Myq7fJoYuEqsCsRPkRYY4br+KZwlEZyxGOWNHh17EKy5QczoVfxPWlgkgHhHHU nxApy9bcFGBvIejXMHSs0rDvsnnkIoWiB2U8r2POi8htftALcZSUYYc0DovYD+QBpChGe1yVwXe5 WyH6HuKA45Xhvk2JE+7Tu8EtGjgqLRJEP5mJklheJdzJ3+GcTTExrQaautOrIxr/XeNmFDq3lXB+ jRta5fOvH5Xo/ba27C3YvcpqZudEo16FO9mee1xM6NvfnbfxLN4jUBDLW9S75vyuOXv/+ea8qp7P vyUvujA0aD2L2EHbjN3Ryql7Shkbqjkj16UZvCXsPZMBEPU6c7ok+SksCeFSVzIIcHCBwGYNElx9 RFU4DHECQ3vV00wCmbIOJEq4hMOiIZfy1ngY/JU9ajb1IcR2DonVLp9Ycl2Ts7NGzsZoFZgDbSao rhmcVVj9UsoUbHsdYVWt1JmlVY1qpik60nKTtYvNoRxcnpsGxNybMNQgGIXAyy0432vRcNjBjEy0 322MsrCYKJxniGSIJySNkbZ7OUZVE6QsV5YM0XbYZNAHx1O8VpDW1mzfQNpZglQU11ghLovem0Qp y+BFlIDbyXJkcbE4WYyOOl67WWt6yMdJx5vCORkuowSiLvUciVkAb5h8JWzan1rMpsoX0WxnhrlF UIVXH9bvSwY7fSARUm1jGdrUMI/SFGCxlmT1rzXBredlQEk3OpsW9XVIhn9NC/CjG1oynRJfFYNd oGjf2du0lfKZImIYTo7QmM3EPobw61QFeyZUwusO0xH0Dbyb0942j9zmnBZd8Y2YwVk6ZkmI03ar SzSrZAs3DSnXwdwV1APbSnU3xr26Kabkz8mUYhr/z0zR+wm8fahPdAR8eNErMNKV0vG4UCGHLpSE 1B8IGBxM74Bsgfe78BiSCt5Km19BDvWvrTnLw5Q1HCLVPg2QoLAfqVAQsgdtyWTfKcyq6d5lWbKU kcmogroysWqPySFhI90DW3pv91AIqW66SdoGDO5k/rn3aQWNAz3kFOvN6WT53mtr4J+efGwxg1Fu HzYDTeb/XMV8PFjsqna9WZ7tvUVD9IPFmNXIqgKEFbaCdlr2r6nCK261tmMtWVxrZspBFJctBmI+ ECXwDgnpf7D/UeEz+wVDb6gjvg+9FcHHC80M0gay+oIdPJBukJY4hsHJEm0yaVbWtenopL2Wbdbn POnmck84W2t2lni/orPz4cwV59TieTo79bDja0tb6WqI7MkSBdI0O8iYwJR9ydrFCRoH1Y4HX5Mg 0PfgCr5HeUCraVpN0+AKPjLBsGS/DHW89CKjwHNLyTH1jFLPMI2M0sgozYwCw1n6DSajtKBT6c8m 8NlO/3go+0ICE1z6RSVrqs7nvs2/AAAA//8DAFBLAwQUAAYACAAAACEAnGZGQbsAAAAkAQAAKgAA AGNsaXBib2FyZC9kcmF3aW5ncy9fcmVscy9kcmF3aW5nMS54bWwucmVsc4SPzQrCMBCE74LvEPZu 0noQkSa9iNCr1AcIyTYtNj8kUezbG+hFQfCyMLPsN7NN+7IzeWJMk3ccaloBQae8npzhcOsvuyOQ lKXTcvYOOSyYoBXbTXPFWeZylMYpJFIoLnEYcw4nxpIa0cpEfUBXNoOPVuYio2FBqrs0yPZVdWDx kwHii0k6zSF2ugbSL6Ek/2f7YZgUnr16WHT5RwTLpRcWoIwGMwdKV2edNS1dgYmGff0m3gAAAP// AwBQSwECLQAUAAYACAAAACEAu+VIlAUBAAAeAgAAEwAAAAAAAAAAAAAAAAAAAAAAW0NvbnRlbnRf 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图 1 (a) 至 (d)：来自 IEMN 的关于 ALLOS 适用于 1200 V 应用的外延片技术的结果。

来自 IEMN 的 Farid Medjdoub 博士在全面公正地看待这些结果后，给出了如下解释：“在基板接地的情况下，ALLOS 外延片可实现超过 1400 V 的纵向和 1600 V 的横向击穿电压，明显优于我们迄今为止测量的来自各个行业和研究合作伙伴的所有样品。此外，我们所看到的结果表明，器件性能在晶片上非常均匀，这对于实际器件生产是一个非常重要的特性。”

在 ALLOS 的 600 V 外延片产品上，IEMN 实现了 1200 V 的纵向和 1500 V 的横向（接地）击穿电压。这两种外延片产品都没有掺杂碳。碳常被硅基氮化镓制造商用来增强分离效果，但对晶体质量和动态转换行为有负面影响。这两种产品均可提供 150 mm 晶片直径对应的 675 μm 厚度以及 200 mm 晶片直径对应的 725 μm 厚度。所有 ALLOS 外延片产品的弯曲度都被严格控制在 30 μm 以下。

“现有的结果表明，我们已经达到了横向 1.7 MV/cm 和纵向 2 MV/cm 的水平，我们还有一项旨在实现外延片级别进一步改进的计划。现在是时候与 1200 V 产品系列的工业合作伙伴建立强大的合作伙伴关系了。” ALLOS 首席执行官 Burkhard Slischka 说道。“由于我们是一家纯粹的外延片技术提供商，没有自己的器件制造业务，因而我们正在寻求与经验丰富的电力电子企业密切合作，以利用其基于硅基氮化镓的 1200 V 应用带来的机会。凭借我们的技术，硅基氮化镓具备与碳化硅性能相媲美的潜力，而成本仅为晶片成本的一小部分。”

IEMN 简介：

IEMN 是一家微米和纳米技术研究中心。我们研究活动的核心集中在信息技术、通信、能源、运输和健康等领域。为了完成本职工作，我们的研究人员充分利用卓越的实验设施，包括欧洲极佳水平的 1600 m² 洁净室和先进科学仪器。我们的科学政策不仅由研究驱动，而且致力于与一些工业领导者建立特殊的合作伙伴关系。