光刻机工厂突发火灾 ASML回应:损失评估还需几天时间

2022-01-04 09:39:22 来源:EETOP

光刻机大厂艾司摩尔(ASML )1月3 日晚间表示,它在德国柏林的一家工厂发生了火灾。不过,过程中说没有人受伤。至于,现在评估火灾对其营运的影响状况还为时过早。

ASML 是当前所有先进半导体芯片制造商的关键生产设备供应商。由于全球半导体芯片目前面临供应短缺的问题,使得该公司目前正在加紧生产设备当中。因此,任何事件造成出货时间的延迟状况,都会冲击到全球半导体产业中那些企图扩大产能的客户们。

起火的公司前身是Berliner Glas,是ASML的供应商。ASML公司2020年才收购了这家公司,当时该公司的年营收约为2.3 亿欧元。Berliner Glas主要为ASML光刻机制造光学系统,这是光刻机的三大核心部件之一。Berliner Glas 所生产的零组件主要包括晶圆(wafertables)、光罩盘(reticle chucks)、以及反射镜(mirror blocks) 等产品。 

报道进一步指出,ASML 对于火灾的状况强调,目前对火灾损失,或是事件本身是否会对ASML 在2022 年的生产计划产生任何影响,其发表任何声明都为时过早。现阶段预估将需要几天时间来统计损失,其结果也将尽快向市场发布最新资讯。不过,ASML 的股价,在传出发生火灾之前持续维持上涨约1% 的态势。但是,在传出发生火灾事件之后,则是股价下跌约0.3% 幅度,来到每股704.4 欧元的价位。

2021年10月底,ASML发布了Q3财报,净销售额52亿欧元(约合386亿元),毛利率51.7%,净利润17亿欧元(约合126亿元)。官方预计四季度销售额49亿到52亿欧元,毛利率在51%到52%。

ASML称,三季度,EUV光刻机系统的订单量达到了29亿欧元,且当季的出货量和收入创下历史新高。目前,ASML主力EUV光刻机是TWINSCAN NXE:3600D,其在客户那里也达到了每小时加工160片晶圆的创纪录效率。

DUV(深紫外)光刻机方面,完成出货1000台ArF(氟化氩浸没式光刻系统),这距离第一台浸没式光刻机(XT:1700Fi)出货过去了15年。

此外,ASML的第一台高NA EUV光刻机预计将在2023年开放早期访问,2024年到2025年开放给客户进行研发并从2025年开始量产。据悉,相较于当前0.33NA的EUV光刻机,0.55NA有了革命性进步,它能允许蚀刻更高分辨率的图案。分析师Alan Priestley称,0.55NA光刻机一台的价格会高达3亿美元(约合19亿元),是当前0.33NA的两倍。

 


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