IWAPS 2023 | 第七届国际先进光刻技术研讨会举办时间通知

2023-06-13 16:55:49 来源:EETOP

    近年来,集成电路产业已经成为世界各国越来越重视的战略性产业,尤其在中国,集成电路产业受到了前所未有的关注,并在政策和资本的推动下获得了蓬勃发展。基于这样的形势,国际先进光刻技术研讨会(International Workshop on Advanced Patterning Solutions, IWAPS)应运而生。IWAPS为来自国内外半导体工业界、学术界的资深技术专家和优秀研究人员等提供了一个技术交流平台,参会者可以就材料、设备、工艺、测量、计算光刻和设计优化等主题分享各自的研究成果,探讨图形化解决方案,研讨即将面临的技术挑战。

    自2017年以来,IWAPS已经在全国各地成功举办六届。会议投稿、会议报告与参会人数逐年增加,行业反响热烈,业已成为国内高端光刻技术领域的重要会议。此外,IWAPS自2020年起已被IEEE收录,接收论文将被送检IEEE Xplore与EI。欢迎大家踊跃报名、投稿!



第七届IWAPS将于2023年10月26-27日于浙江丽水举行


欢迎各位学术和产业届的朋友莅临指导,积极投稿演讲



参会名额有限,有意者请及时报名参会


官网报名链接:

https://www.iwaps.org/cn/index/10

(点击阅读原文可跳转链接)



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-主办单位-


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中国集成电路

创新联盟

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中国光学学会


-承办单位-

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中国科学院微电子研究所



-协办单位-

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丽水经济技术开发区

管理委员会

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浙江富浙资本

管理有限公司


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广东省大湾区集成电路与系统应用研究院

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南京诚芯集成电路技术研究院




-往届精彩回顾-


IWAPS 2017 北京

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链接:首届国际先进光刻技术研讨会胜利闭幕


IWAPS 2018 厦门

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链接:第二届国际先进光刻技术研讨会胜利闭幕


IWAPS 2019 南京

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链接:第三届国际先进光刻技术研讨会在南京开幕


IWAPS 2020 成都

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链接:第四届国际先进光刻技术研讨会在成都开幕


IWAPS 2021 佛山

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链接:第五届国际先进光刻技术研讨会在广东佛山开幕


IWAPS 2022 北京 线上

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                                                链接:第六届国际先进光刻技术研讨会顺利闭幕



-征稿范围-


i. Optical Lithography

ii. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography

iii. Advanced Patterning Technologies

iv. Metrology, Inspection and Testing

v. Design and Technology Co-optimization and Design for Manufacturability

vi. Materials

vii. Process


-往年论文集-

IWAPS 2020: 

https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9286788/proceeding

IWAPS 2021:https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9670881/proceeding

IWAPS 2022: 

https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9971792/proceeding


IWAPS 2023 会议筹备工作已经展开

更多信息,敬请关注会议官网

www.iwaps.org/cn

(请复制链接后在浏览器中打开)

以及“光刻人的世界”微信公众号

我们会随时更新



官网报名链接:

https://www.iwaps.org/cn/index/10

(点击阅读原文可跳转链接)



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