SK 海力士M16 工厂斥资35 兆韩圜(约316亿美元)，是目前SK 海力士旗下最大的工厂，也安装完成首条EUV 生产线，预计将自2021 下半年开始正式量产第4 代10纳米级（1α）DRAM存储器。除了SK 海力士，三星导入新世代制程之后随即导入EUV 设备使用，为全球3 大DRAM 供应商中最早导入EUV 光刻设备者。三星近日发布的LPDDR5 16Gb DRAM 就是采用EUV技术生产，频宽6400MHz，较LPDDR5 12GbDRAM 速度快16%。
据供应链消息指出，2021 年ASML 的EUV 设备出货量从40 台起跳，晶圆代工龙头台积电包下至少15 台、上看20 台，稳居最大客户位置。因ASML 的EUV 产能有限，无法买到足够机台，日前传出三星电子副会长李在镕（Lee Jae-yong）去年10 月出访欧洲，拜会ASML 执行长Peter Wennink 等人，企图争取买到足够EUV 光刻机，甚至提前取得产品的消息，可见市场对EUV 光刻机需求孔急。
