力拼台积电!SK海力士与ASML签订43.4亿美元EUV供应合约
2021-02-26 12:35:11 EETOP
SK 海力士M16 工厂斥资35 兆韩圜(约316亿美元),是目前SK 海力士旗下最大的工厂,也安装完成首条EUV 生产线,预计将自2021 下半年开始正式量产第4 代10纳米级(1α)DRAM存储器。除了SK 海力士,三星导入新世代制程之后随即导入EUV 设备使用,为全球3 大DRAM 供应商中最早导入EUV 光刻设备者。三星近日发布的LPDDR5 16Gb DRAM 就是采用EUV技术生产,频宽6400MHz,较LPDDR5 12GbDRAM 速度快16%。
据供应链消息指出,2021 年ASML 的EUV 设备出货量从40 台起跳,晶圆代工龙头台积电包下至少15 台、上看20 台,稳居最大客户位置。因ASML 的EUV 产能有限,无法买到足够机台,日前传出三星电子副会长李在镕(Lee Jae-yong)去年10 月出访欧洲,拜会ASML 执行长Peter Wennink 等人,企图争取买到足够EUV 光刻机,甚至提前取得产品的消息,可见市场对EUV 光刻机需求孔急。