此前，广东半导体基金一期在2020年9月成立，规模为200亿元。按照粤财控股官网信息，广东半导体基金规划总规模为500亿元。粤财控股党委书记、董事长金圣宏曾在今年4月表示，二期基金规模将达到300亿元。
据财联社报道，数据显示，一期基金目前共出资3只子基金，涉及GP包括中芯聚源、华登国际以及武岳峰科创，合计出资40亿元。
直投方面，一期基金出资项目共12个，涉及项目包括芯聚能、粤芯半导体、志橙半导体、大普通信、锐石创芯以及新锐光掩模等。值得一提的是，一期基金对新锐光掩模的出资比例达到25.42%，该项目外部股东还包括大基金二期，以及上述一期基金出资的中芯聚源子基金。
据金圣宏此前公开表示，一期母子基金共投资项目102个，投资金额超过90亿元，涵盖芯片设计类企业45家，制造及封测类企业19家，设备材料企业38家，“截至2023年4月，已有2家被投企业IPO过会，今明两年还将陆续有19家企业申报IPO。”
