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内容
荷兰半导体管制新规:ASML成熟DUV光刻机不受影响!
2023-03-09 11:54:20
来源:
EETOP
迫于美国压力,荷兰政府
8
日证实,将在夏季前实施新的出口管制
。
据
报道
,新的出口管制涉及最先进的浸入式深紫外光
光刻机
(
DUV
)设备,
ASML
对此表示,新管制包括最先进的沉积和浸润式
光刻机
(
immersion lithography
)设备,
公司将为最先进的浸入式
DUV
系统
申请出口许可证。
ASML
也强调,这项新管制没有包含所有的浸入式光刻机设备,而是所谓的“最先进”工具,但还没接收到有关最先进的定义和信息。
从公司官网可以看到目前
ASML
主流的DUV光刻机有三款设备:
该公司认为最先进的设备可能是 TWINSCAN NXT:2000i及随后推出的浸入式设备。
NXT
:
1980i DUV光刻机则不在管制范围之内(
NXT
:
1980i这款设备也是当年武汉曾经花费了
7200万美元购买过的设备。) 。
而如果需要购买2000i及更先进的设备则需要
申请出口许可证。
从
ASML
官网获悉,1980i与2000i具有相同的光学及量产指标。都采用了193nm的深紫光源,单次曝光最大分辨率支持到38nm。DUV光刻机是通过多次曝光技术也可突破到10nm工艺之内。
ASML
表示,那些专注于成熟工艺的客户可以使用不太先进的浸入式光刻设备,并称公司的长期方案主要基于全球普世需求和技术趋势。
ASML
的
EUV
设备自 2019年就开始受到限制。
最后
ASML
表示,目前荷兰政府的措施不会影响2023年财务前景,或者对长期前景产生重大影响。
关键词:
荷兰
半导体
ASML
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