看点速览|广明源172nm MINI实验模组首秀亮相

2025-05-28 08:32:42 EETOP

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6月4-6日，广明源将参展2025 SEMI-e 中国（深圳）国际半导体展览会，诚邀行业伙伴莅临14号馆14G22展位，现场交流172nm准分子光科技在半导体制造中的创新应用，共探制程优化新路径。

172nm MINI实验模组新品首发

本次展会，广明源将首发推出自主研发的新品——172nm MINI实验模组。该产品专为半导体工艺研发、制程验证及小批量试产环节设计，具备结构精简、成本可控、桌面即放即用、便携灵活等特点，适配多种实验环境与制程需求。

172nm 深紫外黑科技

可高效分解晶圆表面有机残留，提升洁净度与附着性能，为封装、清洗等工艺提供稳定前处理方案。

极简结构，桌面级准分子实验新体验

由于传统准分子光辐照器因高纯度 N₂填充结构复杂，难以实现桌面级灵活实验。广明源创新推出紧凑台式准分子光照射器——172nm MINI实验模组，机身仅相当于书本大小，采用高集成轻量化设计，打破空间与成本壁垒，助力高校、企业及研究机构轻松搭建准分子光实验环境，满足平板显示光清洗、塑料表面改性等多领域研发需求。

应用领域：

表面有机污染物去除

表面活化与改性

封装工艺表面清洁处理

超净化超微细清洗工艺验证

172nm 系列全线亮相共襄盛会

除新品发布外，广明源还将展出多款172nm准分子系列光源与模组产品，覆盖晶圆清洗、半导体基材表面活化、超纯水TOC降解等多个关键工艺环节，为制程优化与设备升级提供更多选择。

172nm准分子系列光源