台积电2020年资本支出估达170亿美元，创下新高无虞。但7纳米及5纳米等先进制程、16纳米以上成熟制程等产能仍供不应求。台积电2021年持续扩增产能以因应强劲需求，包括Fab 18A厂第三期5纳米产能将在第一季开出，Fab 18B厂3纳米产能建置正加速进行，同时提升2纳米闸极全球场效电晶体（GAAFET）技术研发速度等。
设备业者指出，受惠于5G及WiFi 6、人工智能及高效能运算（AI/HPC）、车用及物联网芯片等晶圆代工需求强劲，台积电看好2021年产能持续供不应求，7纳米及5纳米接单几乎全满，成熟制程产能全线吃紧，加上3纳米产能建置及美国5纳米新厂动工将同步展开，持续增加极紫外光（EUV）光刻机及相关设备采购规模，预期2021年资本支出将上看200亿美元，连续三年创下历史新高。
以2021年新厂建置进度来看，台积电针对3纳米制程打造的Fab 18B厂共三期工程已动工，美国5纳米建厂即将展开，南科Fab 14厂会再兴建P8厂做为特殊制程晶圆厂，并在同一厂区内兴建先进封装技术生产基地。再者，竹科厂区将兴建拥有两座研发晶圆厂的研发中心，其中R1研发晶圆厂预计2021年完工，做为2纳米及更先进制程的研发基地，竹南先进封装厂则如期进行。
台积电3纳米将于2022年第二季进入量产，5G及HPC应用会是主要产品线。根据台积电规划，3纳米晶圆厂厂房基地面积约为35公顷，洁净室面积将超过16万平方公尺，大约是22座标准足球场大小。3纳米进入量产时，当年产能预估将超过每年60万片12吋晶圆。业界预期台积电会是全球第一家提供3纳米量产的半导体厂，该厂区也会是全球拥有最多EUV产能的超大型晶圆厂（GigaFab）。
台积电扩大资本支出，大同盟合作伙伴直接受惠。其中，先进制程晶圆厂及先进封装厂的建置，包括汉唐、帆宣、信纮科等厂务工程业者直接受惠，2021年在手订单将续创新高。另外，台积电扩大EUV及先进制程产能，极紫外光光罩盒（EUV Pod）供应商家登及设备代工厂帆宣将受惠，设备及备品供应商京鼎、弘塑、意德士等亦同步受惠。
