Business Korea 12月1日报道，Wennink 等ASML 高层上周访问了三星半导体厂，讨论EUV 光刻设备的供给与发展合作案。业界内部人士相信，三星要求ASML 供应更多EUV 光刻设备，双方并讨论开发新一代EUV 设备的合作事宜。
身为全球唯一一家EUV 设备制造商的ASML，目前对台积电的供货量高于三星。三星希望跟ASML 合组科技联盟，取得更多新一代EUV 光刻设备。ASML 也有跟三星投资合作的必要，因为新一代EUV 设备需要大量研发资金。
三星希望投资高数值孔径（high-numerical aperture，High-Na）EUV 设备的开发案，这种设备可改善半导体微制程所需的电路解析度，一台设备要价4.5亿美元（接近30亿元人民币），是目前款式的2-3 倍。ASML 计划2023 年年中推出设备原型，三星希望赶在台积电之前取得设备，争取技术领先。
不过，三星一名内部人士透露，双方并未在会议上达成投资决定。ASML 高层只是应李在镕10 月份的邀请前来三星访问。ASML 高层也拜访SK 海力士（SK Hynix）总裁李锡熙（Lee Seok-hee），消息显示他们讨论了要如何扩大供应EUV 设备、促进合作。
