2020年4月9日： VLSIresearch发布了2019年半导体及相关制造业关键子系统的顶级供应商名单。其中EUV的采用使光学子系统供应商在2019年大大受益。
自2018年以来，排名前10位的供应商名单基本保持不变，仅Ichor Systems和Ultra Clean Technology分别排名第7位和第9位。光学子系统供应商蔡司（ZEISS）在2019年表现突出，其关键子系统的总收入增长了9.5％，而整体市场下降了-11％。这帮助蔡司将其在关键子系统市场的份额提高了2.6个百分点。
这是因为EUV光刻机已经全面投产，蔡司是ASML的EUV光学子系统的独家供应商。
尽管排名前10位的所有其他供应商在2019年的收入均有下降，但由于在2019年完成对Brook低温业务的收购，Edwards设法将其市场份额提高了0.3％。
10个主要子系统供应商的2019年市场份额的同比变化率（来源：VLSI研究）
什么是关键子系统？
这是一个价值120亿美元的行业，VLSIresearch将“关键子系统”定义为高度工程化和专门化的技术，这些技术在设备制造过程中起到关键作用。
子系统包括真空泵、流体泵、流体泵、阀门、管道、质量流量控制器、过程诊断工具（分析仪等）、光学元件（透镜、反射镜等）、射频电源、热交换器、静电检测、搬运机器人等。
