三星使用Arm Cortex-A53和Arm Cortex-A57内核认证了Synopsys Fusion设计平台和Cadence全流程数字解决方案全流程设计工具，用于5LPE技术。该认证意味着这些工具满足Samsung Foundry的要求，通过使用它们，芯片设计人员可以获得5LPE技术所承诺的最佳功率，性能和面积（PPA）优势。
三星的5LPE技术依赖于具有新标准单元架构的FinFET晶体管，并使用DUV和EUV步进扫描系统。新的制造工艺使芯片设计人员能够在专为5LPE设计的IC上重复使用7LPP IP，同时享受后者提供的所有优势。与7LPP相比，新技术的“逻辑效率”提高了25％，它还使芯片开发人员能够将设计的功耗降低20％或将性能提高10％。
由三星认证的Candence和Synopsys的工具集包括编译器，验证器，电源电路优化器以及EUV专用工具。
由于三星的5LPE比公司的7LPP工艺使用更多的EUV层，因此预计它将用于三星即将在华城的EUV工厂。该生产线 预计将耗资 6万亿韩元（46.15亿美元），预计2019年完工，并于2020年开始大批量生产。
