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【技术大咖测试笔记系列】之十: 在当今高压半导体器件上执行击穿电压和漏流测量
2021-12-17 16:41:44
来源:
泰克科技技术大咖
在经过多年研究和设计之后,
碳化硅
(SiC)和氮化镓 (GaN)功率器件正变得越来越实用。这些器件尽管性能很高,但它们也带来了许多挑战,包括栅极驱动要求。SiC要求的栅极电压(Vgs)要高得多,在负偏置电压时会关闭。GaN的阈值电压(Vth)则低得多,要求严格的栅极驱动设计。宽带隙(WBG)器件由于物理特点,机身二极管压降较高,因此对空转时间和打开/关闭跳变的控制要求要更严格。
准确的
电源
和
测量
测试
对表征这些高压器件非常关键,以便能够及时制订正确的设计决策。提高设计裕量和过度设计只会推动成本上升,导致性能下降。此外,这些器件一般会涉及超过200 V的高压,因此确保人身安全,防止触电非常关键。
高压器件
测试
高压
半导体
器件基本表征一般需要研究击穿电压和漏流。这两个参数帮助器件设计人员迅速确定器件是否正确制造,确定其能否有效地用于目标应用中。
击穿电压
测量
在
测量
击穿电压时,我们要对被测器件施加一个不断提高的反向电压,直到达到一定的
测试
电流,表明器件被击穿。图1是使用源
测量
单元(SMU)仪器在高压二极管上进行击穿
测量
,比如使用Keithley 2470 高压源表SourceMeter® SMU仪器。注意SMU仪器怎样连接到二极管的负极上应用反向电压。对高压二极管,使用安全三同轴电缆和正确接地的安全配线箱。
图1. 使用2470 高压SMU仪器
对
高压二极管进行的典型击穿电压
测量
。
在判断击穿电压时,一般会在远高出被测器件预计额定值的水平上进行
测量
,以保证被测器件强健可靠。SMU仪器(如2470拥有1100 V源功能)一般足够高,可以
测试
当今SiC和GaN 器件及未来器件设计。
人身安全
考虑
因素
图2:
正确
接地的
测试
夹具。
图3:
安全
互锁连接在Keithley 2470 SMU仪器
后
面板上的位置。
在进行高压
测试
时,人身安全至关重要,必须提前预防,避免触电:
把被测器件(DUT)和任何暴露的连接密封在正确接地的夹具中,如图2所示的夹具。
在理想情况下,SMU仪器要有安全互锁,如图3中的2470后面板所示。2470可以完全互锁,在互锁无效(互锁开关闭合)时高压输出会关闭。SMU仪器的互锁电路应连接到正常开路的开关,只有在系统中的用户接入点闭合时开关才会闭合,以保证操作人员不会接触DUT的高压连接。例如,一旦打开
测试
夹具盖,开关/继电器就会开路,脱离2470 SMU的互锁。
使用额定值达到系统最大电压的电缆和连接器。吉时利TRX-1100 V高压三同轴电缆是专为2470设计的,满足了当今高压安全标准。
处理通电元件上的高压时,一直戴上正确的安全手套,如图4所示。
图4. 在处理通电元件上的高压时
使用
正确的安全手套
。
流
测量
在典型的功率转换应用中,
半导体
器件作为开关使用。漏流
测量
表明了
半导体
接近理想开关的程度。此外,在
测量
器件的可靠性时,漏流
测量
用来表明器件劣化,预测器件的使用寿命。
半导体
研究人员正在寻找各种材料,以制作质量更高的开关,生产漏流很小的高功率器件。SMU仪器(如Keithley 2470)提供了精密弱电
测量
功能,
测量
分辨率最低可达10 fA。
在
测量
<1 μA电流时,为了防止不想要的
测量
误差,可以使用三同轴电缆和静电屏蔽装置。三同轴电缆非常重要,部分原因是它们允许承载来自电流
测量
仪器的保护端子。保护功能消除了系统漏流影响,使其绕过
测量
端子。使用静电屏蔽装置,可以使静电电荷避开
测量
端子。静电屏蔽装置是一种金属配线箱,放在电路和任何暴露的连接周围。安全
测试
配线箱可以作为静电屏蔽装置使用。
使用Keithley 2470 SMU仪器和KickStart软件表征SiC功率二极管,2470 SMU仪器与吉时利KickStart软件相结合,可以准确安全地快速
测试
高压
半导体
器件上的击穿电压和反向漏流。
关于泰克科技
泰克公司总部位于美国俄勒冈州毕佛顿市,致力提供创新、精确、操作简便的
测试
、
测量
和监测解决方案,解决各种问题,释放洞察力,推动创新能力。70多年来,泰克一直走在数字时代前沿。
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