EUV光刻机已进入安装阶段,SK海力士10纳米DRAM即将亮相

2021-01-21 15:57:29 来源:EETOP
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因此业内人士有诸多揣测,包括将研究大楼R3的2台EUV光刻机转移至该产线,并计划于今年2月开始安装新购买的设备等。现在看来,SK海力士新设备的购买和安装速度快于业界预期。
随着EUV关键设备安装工作的全面展开,开展EUV项目的SK Hynix Task Force(TF)的角色也发生了变化。据报道,EUV TF由韩国科学技术研究院内的郑泰宇副院长负责,目前正进入1a DRAM研发定案阶段,并专注于向量产线转移技术。据悉,三星电子在研发阶段已经获得了可观的良率。而SK海力士在准备生产EUV DRAM的同时,力求在线宽上有所突破,并提高集成度。
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