新一代EUV光刻机单台售价30亿元! 三星盘算抢先台积电获得

2020-12-02 13:09:39 来源:EETOP
三星电子副会长李在镕(Lee Jae-yong)今年10月出访欧洲、拜会艾司摩尔(ASML)执行长Peter Wennink等人后,传出Wennink也礼尚往来,于上周访问三星,希望能促成极紫外光(EUV)光刻机的合作案。

Business Korea 12月1日报道,Wennink 等ASML 高层上周访问了三星半导体厂,讨论EUV 光刻设备的供给与发展合作案。业界内部人士相信,三星要求ASML 供应更多EUV 光刻设备,双方并讨论开发新一代EUV 设备的合作事宜。

身为全球唯一一家EUV 设备制造商的ASML,目前对台积电的供货量高于三星。三星希望跟ASML 合组科技联盟,取得更多新一代EUV 光刻设备。ASML 也有跟三星投资合作的必要,因为新一代EUV 设备需要大量研发资金。

三星希望投资高数值孔径(high-numerical aperture,High-Na)EUV 设备的开发案,这种设备可改善半导体微制程所需的电路解析度,一台设备要价4.5亿美元(接近30亿元人民币),是目前款式的2-3 倍。ASML 计划2023 年年中推出设备原型,三星希望赶在台积电之前取得设备,争取技术领先。

不过,三星一名内部人士透露,双方并未在会议上达成投资决定。ASML 高层只是应李在镕10 月份的邀请前来三星访问。ASML 高层也拜访SK 海力士(SK Hynix)总裁李锡熙(Lee Seok-hee),消息显示他们讨论了要如何扩大供应EUV 设备、促进合作。

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