光刻机巨头ASML亮相进博会,展示7nm光刻机,表示对中国一视同仁!

2020-11-06 13:04:49 来源:EETOP
据每日经济新闻报道,世界光刻机巨头ASML亮相第三届进博会。作为全球唯一能生产EUV光刻机的企业,由于ASML目前仍不能向中国出口EUV光刻机,所以此次展示的是其DUV光刻机。据了解,该产品可生产7nm及以上制程芯片

ASML也带来了其整体光刻解决方案,包括先进控制能力的光刻机台计算光刻和测量通过建模、仿真、分析等技术,让边缘定位精度不断提高。

作为全球芯片光刻技术的领导者,本次ASML(阿斯麦)以“光刻未来,携手同行”为主题亮相第三届进博会技术装备展区。时间是2020年11月5日至10日,位于技术装备展区3C6-002。

光刻机(Mask Aligner) 又名掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

另据澎湃新闻报道,在第三届中国国际进口博览会现场,荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)全球副总裁、中国区总裁沈波表示,该公司对向中国出口集成电路光刻机持开放态度,对全球客户均一视同仁,在法律法规框架下,都将全力支持。沈波透露,2020年第二、第三季度,公司发往中国大陆地区的光刻机台数超过了全球总台数的20%。

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