ASML 新型NXE:3400C EUV光刻机批量发货,EUV订单严重堆积,交货滞后

2019-10-18 13:10:04 来源:WikiChip EETOP
ASML昨日召开了第三季度业绩电话会议。该公司报告了净系统销售23亿欧元。在EUV方面,ASML的系统总销售额为7.43亿欧元,来自于第三季度交付的7款EUV系统。每台EUV机器的成本为1.175亿美元。

NXE:3400C 系统正式发货
 

会议报告指出,最新的NXE:3400C系统在第三季度正式发货。3400C是第一个完全面向HVM的系统。虽然相比3400B并没有带来实质性的变化。但新的系统通过一个新的模块化容器提高了维修和正常运行时间,旨在加快交换集热器和锡罐可以重新填充的方式。

 

 

ASML本季度共交付了七个系统。其中三个系统是NXE:3400C。第四季度,ASML将再发售6台NXE:3400C系统,而仅发售2台NXE:3400B系统。到明年,所有发货的系统将都是是NXE:3400C。分析指出,到今年年底,ASML将累计发货45个NXE:3400B和9个NXE:3400C系统。

 

 

已出货的EUV系统总数

EUV订单堆积,交货滞后


第三季度系统订单额为51亿欧元,这主要是由EUV推动的,从逻辑和内存领域收到了23个系统的订单。这是单季订单量最高的一个季度,是此前最高季度的两倍多。ASML证实这23个系统中有很大一部分是用于内存制造而不是逻辑。

订购的EUV系统
 

这让我们看到了一个令人不安的现象:订单越来越多,而ASML却无法按时交货。事实上,ASML预计第四季度的净销售额为39亿欧元,其中包括计划中的8批EUV发货量带来的约9.5亿欧元。ASML最初为Q4计划了12套EUV系统。发货的急剧减少是由于NXE:3400C临时供应限制。现在计划在2020年早期增加四个系统。现在计划在2020年初增加四个系统。在计划中的30个EUV系统中,今年将只出货26个。与去年取得的18个相比,这是一个不错的进步,3家领先的逻辑器件制造商和DRAM制造商都下了大量订单,但积压的订单仍在显著增加。根据分析,ASML即将积压50台机器。早在今年,ASML就表示有信心在明年达到33台机器的产量,但在最近的财报电话会议上,这一数字已经调低了。

 

当前的EUV系统积压
 

按照目前的生产速度,第四季度的订单在2021年年中之前都无法完成。目前还不清楚EUV机器的大量积压会对芯片代工厂产生什么影响。

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