关于前段工艺和后端工艺的理解

上一篇 / 下一篇  2017-10-11 10:10:50

       其实很久以前就接触过前端工艺(FEOL)和后端工艺(BEOL),但是以前没有详细的理解过这两个概念,今天看资料的时候有看到了这两个概念,就做一次彻底的了解吧。
      前端工艺(FEOL):front-end of layout,就是指在模拟集成电路中contact之前的工艺,也可以理解为晶体管的尺寸大小,例如FEOL.5。 通常指NW,AA,SP,SN.........
      后端工艺(FEOL):front-end of layout,就是指在模拟集成电路中contact之后的工艺,金属互联层,也可以理解为metal的尺寸大小,例如BEOL.35。通常指CONTACT,M1,V1,M2,V2........

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