记忆斗不过时间 随手记~~

[ZZ]天线效应及其解决方法

上一篇 / 下一篇  2017-04-06 21:36:16 / 个人分类:Layout

天线效应及其解决方法

:i#?'@ HZnR&sj0“天线效应”的图片搜索结果中国电子顶级开发网(EETOP)-电子设计论坛、博客、超人气的电子工程师资料分享平台D(w W+B6f]

天线效应的产生粗略的讲就是金属表面积累的电荷过多,但又无法形成对地的放电通路,结果很有可能是对栅氧造成破坏。由于现代工艺尺寸越来越先进,沟道长度越来越小,antena的问题就越来越受重视。通常,我们通过金属跳线或者在poly-gate旁边放置足够面积的diode可以避免天线效应的发生。但是金属该往上跳还是往下跳呢?中国电子顶级开发网(EETOP)-电子设计论坛、博客、超人气的电子工程师资料分享平台 dh M/f#?2iVU

我们都知道做mask的时候是从低层往高层做的。每一道工序都有诸如平坦化,隔离等,之后肯定会有静电泄放的操作。从这个角度来说,假如metal3过大有antena的问题,我们用metal4对其跳线。在做metal3的mask时,metal3实际上分开的,只有做到metal4的时候他们才会连起来,而到metal4时,metal3的表面电荷已经由于工艺过程减少很多了;而如果用metal2对其跳线,在做metal3时,metal2和metal3是会相连的,并没有起到减少电荷的作用。

K,E1fA:xW0

栅氧漏电,尽管对功耗不利,但对天线效应是有利的。栅氧漏电可以防止电荷积累达到击穿。所以,实际上可以看到薄的栅氧较厚栅氧不易发生损坏,因为当栅氧变薄,漏电是指数上升的,而击穿电压是线性下降的。

UH.h'O;R,U0

常用的三个避免天线效应的方法

  1. 跳线,而且最好是往上跳线
  2. 增加对地反向偏置diode,
  3. 在信号线上加一组buffer,这个方法既可以规避antena,也可以为信号增加驱动能力
中国电子顶级开发网(EETOP)-电子设计论坛、博客、超人气的电子工程师资料分享平台&jiHx+v%HpK

一般来说command file会定义检查是否antena metal连到gate-poly上,还有是否面积过大。解决方法我建议是在靠近gate-poly的地方断开metal用高层metal跳一下,当然这在drc中可能不太好查,所以drc一般规定在发生antena的metal上有一个N-diode,越靠近transistor越好。

jP*t%W^ KC0

#JJ1fM3dhId^r0
\*i j1~7jc {_0中国电子顶级开发网(EETOP)-电子设计论坛、博客、超人气的电子工程师资料分享平台 @#K8|!G d3r(D

中国电子顶级开发网(EETOP)-电子设计论坛、博客、超人气的电子工程师资料分享平台 m:m!m&mPpJ&GI

From:http://blog.sinovale.com/770.html中国电子顶级开发网(EETOP)-电子设计论坛、博客、超人气的电子工程师资料分享平台)L gVfJ

iW-y&tU9PH0

TAG: Layout layout LAYOUT 天线效应

 

评分:0

我来说两句

显示全部

:loveliness: :handshake :victory: :funk: :time: :kiss: :call: :hug: :lol :'( :Q :L ;P :$ :P :o :@ :D :( :)

Open Toolbar