其实很久以前就接触过前端工艺(FEOL)和后端工艺(BEOL),但是以前没有详细的理解过这两个概念,今天看资料的时候有看到了这两个概念,就做一次彻底的了解吧。 前端工艺(FEOL):front-end of layout,就是指在模拟集成电路中contact之前的工艺,也可以理解为晶体管的尺 ...
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