sentaurus是现在对器件电学特性仿真的主要工具,几乎涵盖了所有的微电子器件的各种性能的仿真,其中最主要的是对器件电学特性的仿真。 对于电极部分,常出现的一个问题就是对势垒和共函数的设置不合理导致阈值电压的不合理,其实对于多晶栅,建议采用默认的参数,也就不再另外设置势垒或者共函数,软件会自动根据掺杂情 ...
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