wafer 洗边工艺

不吃细糠的山猪 · 发表于 2024-4-29 11:44:09

我知道的fab厂都会对wafer进行洗边处理，但具体是怎样的操作？洗边的目的是什么？求助大神讲解，感谢

Zenor · 发表于 2024-4-30 09:56:45

https://b2b.baidu.com/q/aland?q= ... 1256139&utype=2

cd1992 · 发表于 2024-4-30 15:09:20

洗边主要是清除掉晶边光阻不均匀对工艺以及良率造成的不好影响。工艺上主要是涉及两种，一是EBR（edge bead removal）拿solvent冲洗晶边，这效果比较粗糙。还有就是WEE（wafer edge exposure）,这个是对晶边晶圆进行曝光，后面显然可以给干掉，一般晶边是3mm。EBR宽度正常是比WEE小

[求助] wafer 洗边工艺

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